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Kurt Lesker E-beam蒸發(fā)設(shè)備

Kurt Lesker E-beam蒸發(fā)設(shè)備01.jpg


儀器簡介

美國進口Kurt Lesker Lab-line E-beam蒸發(fā)設(shè)備, 單步工藝可連續(xù)蒸鍍6種金屬材料。


性能指標

腔體本底壓力可達2E-8 Torr,蒸發(fā)速率0.1A/s~10A/s;膜厚均勻性±2%。可根據(jù)不同材料特性要求做調(diào)整。可以使用特殊夾具作業(yè)非標準尺寸的加工基片。


應(yīng)用范圍

電子束蒸發(fā)設(shè)備,主要用于蒸鍍Ti、Pt、Au、Ni、Al、Pd、Ge、Cr等多種金屬材料,蒸鍍速度可調(diào)且穩(wěn)定,可應(yīng)用于lift-off工藝。


工藝圖:


Liftoff 金屬圖形化

圖片1.png


玻璃基底光學(xué)器件鍍膜

圖片2.png


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