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SEM( ZEISS SIGMA HD)

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儀器簡(jiǎn)介

SEM形貌分析設(shè)備


性能指標(biāo)

分辨率:1.3nm (20 KV) ;加速電壓:0.02-30KV ;探針電流:4 pA-20 nA ;放大倍數(shù):10-1000 000X


應(yīng)用范圍

場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡,SIGMA HD配有in-lens二次電子探測(cè)器的GEMINI鏡筒,樣品室二次電子探測(cè)器、背散射電子探測(cè)器和CCD攝像機(jī)等四種類(lèi)型的探測(cè)器,樣品臺(tái)為五軸全自動(dòng)控制,能夠提供出色的分辨率和亮度,適用于樣品形貌的清晰成像。具有高真空和可變壓力模式,實(shí)現(xiàn)了分析型場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的高清晰成像,并能夠在低加速電壓下(750V-3kV)和低探針電流下對(duì)樣品成像。


工藝圖:


圖片1.png


圖片2.png

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