原子力顯微鏡利用微懸臂感受和放大懸臂上尖細探針與受測樣品原子之間的作用力，從而達到檢測的目的，具有原子級的分辨率。

主要技術指標

成像模式：接觸模式、輕敲模式、相位模式、水平力模式、力調制模式；

分辨率：水平0.2nm，垂直0.01nm；

最大掃描范圍：30um x 30um x 5um